AI赋能研发跑出加速度 国产KrF光刻胶树脂研发取得阶段性进展

东南网7月1日讯（本网记者 刘玮 李奇）半导体光刻胶是芯片制造的核心基础材料，长期以来，高端光刻胶相关技术受制于海外，成为我国集成电路产业发展的关键材料之一。近日，上海人工智能实验室牵头，联合厦门大学洪文晶教授团队及国内光刻胶材料企业等合作单位，在KrF光刻胶树脂研发上取得阶段性突破，自研树脂产品多项核心指标对标国际主流产品，项目接下来将进入产线验证阶段，为我省半导体关键材料国产化再添新成果。

跨界携手立项 瞄准产业痛点攻坚

此次合作项目，始于各方对人工智能赋能复杂物质科学研究的前沿探索。厦门大学依托校内高端电子化学品国家工程研究中心这一优质平台，且与国内光刻胶材料企业在光刻胶领域有着长期合作基础。光刻胶是工业领域结构极为复杂的材料之一，对纯度、稳定性、加工性能要求极为严苛，传统研发主要依靠科研人员经验反复试错，不仅耗时漫长，也很难突破固有思维局限。综合考量之下，各方携手组建联合攻关团队，定下以新技术攻坚KrF光刻胶难题、稳步推进产业化落地的目标。

“我们希望探索人工智能在复杂物质科学领域的应用，这是面向世界科技前沿的尝试。”洪文晶表示，团队始终坚持科研服务产业的导向，不只追求理论成果，更追求能够转化为新质生产力的技术创新，这也是选择攻坚光刻胶这一硬核材料的初衷。

据介绍，KrF光刻胶应用场景十分广泛，是新能源汽车车规级芯片和CPU生产的必备材料，深度支撑着人工智能、汽车电子等产业发展。面向更先进制程，光刻胶材料体系仍需持续攻关。

创新研发模式 综合性能跻身国际一流

相较于传统研发模式，全新的研发体系让实验室阶段的创新效率实现大幅跃升，整体效率提升10至100倍。整套系统依托大模型与智能体开展工作，整合海量文献、专利等专业知识，跳出人工经验的束缚，快速筛选最优制备方案，甚至探索出以往难以触及的技术路径，再搭配自动化实验设备，构建起完整的研发闭环。

“这套体系最核心的创新，就是改变了以往依靠人工经验决策的模式。借助大模型强大的分析与泛化能力，它能比顶尖行业专家更快锁定光刻胶树脂的理想制备工艺。”洪文晶介绍。

经过多轮调试优化，本次研发的KrF光刻胶树脂各项核心指标表现优异，分子量分布、耐热性、杂质含量等关键参数均追平国际主流产品。谈及这一成果，洪文晶有着理性且深刻的看法：“这一阶段性进展，意味着我们彻底打破了海外供应商在高端光刻胶树脂稳定制备上的技术壁垒，不再受制于国外的‘黑箱技术’，这是国产半导体材料发展路上重要的一步。但同时也要清醒认识到，KrF光刻胶并非当前最顶尖的光刻胶品类，在更先进制程配套光刻胶等更高阶产品领域，我们和全球顶尖水平仍存在差距，追赶之路不能停下。这次并跑不是终点，而是新起点。依托自主研发的技术体系，我们有了更足的底气去冲击更高端的技术领域。”

洪文晶同时客观分析了产业转化的客观规律。他坦言，人工智能能够极大加快实验室原始创新的速度，但光刻胶属于超高精度新材料产品，从样品研发成功到投入芯片工厂规模化使用，必须经过长期、严格的产线可靠性验证，这一环节目前无法借助技术手段缩短周期。目前，和相关企业已完成树脂配方适配，项目将进入产线验证阶段。

拓展应用边界 打造通用研发技术体系

在项目团队看来，本次攻关的价值，远不止实现一款光刻胶树脂的国产化，更在于打造出一套自主可控的新材料智能研发工具。这套技术体系通用性强，除了继续助力更高端光刻胶研发之外，还可广泛应用于各类高端电子化学品领域。

目前，团队依托这套研发模式，已完成多款电子化学品相关研发储备，相关成果不久将对外公布。虽然品类不同，但这套研发体系具备通用价值，将持续助力国内全品类光刻胶技术加速向前追赶。

放眼长远，厦门大学还在持续拓展新型研发模式的应用场景。如今，团队已将相关技术延伸至新能源领域，开展电池粘结剂、隔膜、电解液等全链条材料研发，同时尝试运用新技术研发高端实验仪器。

“大模型和智能体具备更高维度的思考能力，面对复杂科研难题，效率和深度都更具优势。”洪文晶说道，人工智能与科研深度融合，是人工智能技术落地实体经济、创造产业价值的重要方向。

未来，厦门大学项目团队与各方将稳步推进产线验证与工艺优化，持续深挖技术潜力。依托福建本地产业与科研优势，项目团队将持续助力电子化学品、新能源等产业补短板、强弱项，推动省内新材料产业从跟跑逐步向原始创新、引领发展迈进。