厦门造半导体专用黄光灯取得技术突破

厦门造半导体专用黄光灯取得技术突破

厦门日报讯 （记者 林露虹）记者近日从厦门火炬高新区企业普为光电获悉，该公司在半导体专用黄光灯的研发难点上取得技术突破，其520纳米芯片级车间应用产品在关键指标上达到国际先进水平。黄光灯是半导体车间不可或缺的照明设备，长期以来，高端黄光灯主要依赖进口。

普为光电介绍，此次攻克的核心难题在于，实现对520纳米以下波长光线的精准、永久过滤，并在灯具整个生命周期内实现“零溢出”（即无紫外线溢出），为光刻、显影等敏感工艺提供安全、稳定的光环境。

作为国家级专精特新“小巨人”企业、LED管型灯领域头部企业，普为光电的黄光灯技术已成熟应用十多年，凭借“无光谱漂移、无波长泄漏”的稳定运行纪录，服务半导体头部厂商。此次技术突破不仅为全球晶圆厂提供了新选择，也为我国构建安全、可控的半导体产业链注入新动能。