厦门火炬高新区企业取得技术新突破

火炬高新区企业取得技术新突破

推动碳化硅外延材料国产化进程

东南网7月11日讯（海峡导报记者 陈磊）日前，火炬高新区企业瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司（以下简称“瀚天天成”）对外宣布，完成了具有自主知识产权的8英寸碳化硅外延工艺的技术开发，正式具备国产8英寸碳化硅外延晶片量产能力，并于近期签署多项长期合约，包括价值超过1.92亿美元（约合人民币13.91亿元）的8英寸碳化硅外延晶片长期合约。

当前，瀚天天成所生产的8英寸碳化硅外延晶片的质量达到国际先进水平，厚度不均匀性小于3%，浓度不均匀性小于6%，2mm×2mm管芯良率达98%以上。这项技术的突破，标志着我国已经掌握商业化的8英寸碳化硅外延生长技术，进一步推动碳化硅外延材料的国产化进程，极大提升了我国在碳化硅外延领域的国际地位。

在半导体领域，增大晶片尺寸是提高半导体产品竞争力的最佳途径。以2mm×2mm尺寸的管芯为例，通过完全同样的工序，一片8英寸碳化硅外延晶片的芯片（器件）产出量是6英寸晶片产出量的1.8倍，是4英寸晶片产出量的4.3倍。因此当下瀚天天成可以量产的8英寸碳化硅外延晶片产品的推出，将能够有效降低器件生产的成本，对推动碳化硅半导体产业的发展具有深远的意义。

瀚天天成目前是碳化硅半导体纯外延晶片生产商，为国家级专精特新重点“小巨人”企业（第一年第一批），公司于2011年3月在厦门火炬高新区成立。

近年来，厦门市积极布局第三代半导体碳化硅产业链，将第三代半导体列入十大未来产业行列，并先后出台多项举措支持推动该产业在厦发展。